中图仪器（Chotest）提出的“离线标定+在机反馈”全维度测控闭环系统，针对高端制造领域如数控机床、半导体光刻机中存在的精度漂移问题，提出由SJ6000激光干涉仪进行离线几何误差标定，结合PLR3000光纤激光尺实现在机实时位置反馈的闭环解决方案。系统通过离线获取高精度静态误差补偿表，并利用在机动态监测热变形、振动等引起的误差，实现加工过程中的实时补偿，提升长期加工稳定性与精度保持能力。该体系融合感知层（PO系列测头）、执行层（PLR3000）与基准层（SJ6000），构建从物理溯源到实时控制的完整闭环，已在超精密光学、半导体封装等领域广泛应用。
适合人群：从事精密机械设计、高端数控系统开发、超精密加工工艺研究的研发人员及工程技术人员，尤其适用于有精度提升需求的制造企业技术团队。
使用场景及目标：
①解决设备因热变形、机械磨损导致的加工精度下降问题；
②实现亚微米乃至纳米级加工中的动态误差补偿；
③构建覆盖静态标定与动态反馈的全链路精度控制体系；
强调物理级精度控制逻辑，建议结合实际设备布局与控制系统架构进行对照理解，并关注激光干涉仪与光纤激光尺在系统集成中的协同机制，以充分发挥闭环系统的性能优势。
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